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油擴散泵
ULK 系列

ULVAC的ULK型油擴散泵運用了長年的研究成果與豐富的製造經(jīng)驗所設計而成的高臨界背壓小型高真空排氣泵。日本愛發(fā)科油擴散真空泵  ULK 系列維修保養(yǎng)?

特點

• 設計為高臨界背壓。
• 單臺可以抽到?10^-2 Pa (10^-4 torr)，性能非常穩(wěn)定。
• 採用了羅茨法蘭口。(除了ULK-04A、06A)
• 清潔非常方便。(部品的分解也非常簡單)
• 具備輔助泵側的油液反流防止機構日本愛發(fā)科油擴散真空泵  ULK 系列維修保養(yǎng)?
  蘇州昆山太倉無錫上海張家港吳江常熟鎮(zhèn)江日本愛發(fā)科油擴散真空泵  ULK 系列維修保養(yǎng)ULK-04A ULK-06A ULK-10A ULK-14A
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