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空氣冷卻裝置：對(duì)于水冷裝置無安裝與運(yùn)行成本變頻器：運(yùn)行時(shí)間計(jì)數(shù)器，遠(yuǎn)程控制（RS-485、無電位接觸、Profibus 請(qǐng)咨詢），多選轉(zhuǎn)速（節(jié)能，降低聲壓，與應(yīng)用匹配）通用型電源：寬電壓范圍，50/60 Hz 單相和三相 標(biāo)準(zhǔn)：CE 標(biāo)準(zhǔn)，UL/CSA 認(rèn)證，SEMI S2 認(rèn)證德國普發(fā)pfeiffer多級(jí)羅茨真空泵ACP 15G

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空氣冷卻裝置：對(duì)于水冷裝置無安裝與運(yùn)行成本變頻器：運(yùn)行時(shí)間計(jì)數(shù)器，遠(yuǎn)程控制（RS-485、無電位接觸、Profibus 請(qǐng)咨詢），多選轉(zhuǎn)速（節(jié)能，降低聲壓，與應(yīng)用匹配）通用型電源：寬電壓范圍，50/60 Hz 單相和三相標(biāo)準(zhǔn)：CE 標(biāo)準(zhǔn)，UL/CSA 認(rèn)證，SEMI S2 認(rèn)證德國pfeiffer vacuum多級(jí)羅茨真空泵ACP 15

旋片泵的腐蝕性版本是為使用礦物油運(yùn)行而設(shè)計(jì)的。它們用于采用腐蝕性氣體的高要求應(yīng)用，由于使用礦物油，工作液成本相對(duì)較低。德國adixen阿爾卡特Pascal 2005，C1真空泵